日本半导体厂商爱发科推出半导体设备耐腐蚀处理服务

财联社4月25日讯,日本大型半导体制造设备企业爱发科(ULVAC)已开始提供可提高半导体和显示器生产设备良品率(合格率)和耐久性的表面处理服务。通过特殊保护膜,防止真空设备的内壁或零部件受到腐蚀,不易排放出含有微尘和杂质的气体。爱发科计划面向最尖端半导体制造等领域开拓需求。

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